表扬了他。
沐阳来到一台XH1200型单晶炉前,此时有七八位员工正在设备外围交流,看到沐阳,这些员工还是没认出来。
技术经理向海,见过沐阳多次,也知道沐阳要来,通过他的身材和眼神认出来,然后走过去打招呼:
“董事长,您来了。”
向海这么一喊,其他员工血压瞬间飙升,眼前这位竟然是董事长!
“嗯,说说具体情况。”沐阳点头。
向海说道:“我们眼前这台设备,昨天开始试制样品,理论最大熔料量达到1200公斤,我们放了1000公斤。
设备可拉制12英寸到14英寸的单晶硅棒,目前正在生产的是12英寸的硅棒,尝试全长度尺寸怎么样。
昨天,我们试制了两根一米长度的单晶硅棒,以测试结果来看,各种指标达到了高端手机芯片的硅材料要求,生产效率比常规的每小时提拉10厘米要快一倍左右。
当然,离我们制定的要求,还是有一些差距,有不少小瑕疵,比如硅纯度达到了11N,但不管怎么样调试,都达不到12N,我们正在找原因,还没找到。”
星海集团目前使用的硅精练方法是提拉法。
先把熔化的Si放在石墨坩埚里面,使用感应法加热,之后又放在石英容器里,通过纯氢气体作为清洁氛围。再把作为种子的籽晶放在垂直棒的前端,再放入熔化的Si里面。
因为籽晶表面会吸附熔化物,在垂直棒不断缓慢旋转和提拉的过程中,可以长出直径比籽晶大得多的体材料晶体。
这有点像两根筷子插入盛满面条的锅里,筷子夹紧的几根面子就像是“籽晶”,吸附锅里的其它面条,随着筷子旋转,然后提升,越来越多的面条被卷入筷子中。
而且,被卷入的面条排布得比较整齐,其实提拉法还利用到了旋转重力的作用,能够均匀地分布熔化的硅,同时通过轴(筷子)的旋转,控制了硅温度和几何构性的不均匀性。
沐阳说道:“先带我看看试制好的样品。”
向海点头,走到一根未切割的单晶硅棒前,长度约一米多,外径是12英寸,这一根硅棒,也有一百多公斤。
沐阳蹲下来观察,用手抚摸硅棒表面,赞道:“外径直线度不错,直径均匀,不过,这只是一米长而已,拉完一炉一千公斤的,理论可以拉四五米长。”
沐阳检查完这根未切割的单晶硅棒,再检查另一根已经切割过的硅棒样品,已经切割了一半。
单晶硅棒是先用线切割机把两端锥形料头切割掉,如果硅棒很长就分段,否则太重不好搬动和加工,车外圆,然后再用真正的切片机切晶圆片。
用切片机切片,效率会快许多,切割平面度会更好一些,也不容易碎,如果是线切割,比较粗糙。
刚切下来的晶圆片厚
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